氦质谱检漏仪

支持正压检漏，负压检漏

自动跟踪本底，提供快速可靠的测量结果

优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应

高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦

支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底

机器的性能支持7*24小时长时间在线测试

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氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，进口氦质谱检漏仪，然而由于氢一方面有危险，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，进口氦质谱检漏仪价格，所以很少采用。氦气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子质量为4.003，分子直径为2.18×10-10m，

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高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，进口氦质谱检漏仪多少钱，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

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